ASML宣布全新半导体技术:产能大涨600%

ASML宣布全新半导体技术:产能大涨600%
说到荷兰ASML公司,我们都知道他们是全球仅有的EUV光刻机供货商,7nm及以下的工艺出产都要靠他们的设备。不过ASML不只是光刻机凶猛,今日他们宣告了别的一个新产品——第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000,适用于5nm及更先进工艺,使得产能大涨600%。跟着制程工艺不断提高,晶圆的制作也越来越杂乱,这也会导致晶圆中的过错更多,HMI eScan1000便是一套依据HMI多光束技能的检测体系,内部也有杂乱的光电子体系,能够发生、操控多个电子束,然后依据反射回来的电子束成像来剖析晶圆质量,并有高速运转的渠道以操控测验的晶圆数量,还要有核算体系处理电子束的数据。简略来说,ASML研制的这个HMI eScan1000机器便是一台验证先进工艺出产出来的晶圆质量的体系,工艺越先进,检测体系就越重要,它的检测精度、吞吐量决议了出产的功率。ASML的HMI eScan1000的打破之处在于能够一起发生、操控九道电子束,所以产能提高了600%,能够大大削减晶圆质量剖析所用的时刻。现在HMI eScan1000能够用于5nm及以下先进工艺的晶圆测验,现已交付给客户进行测验验证,未来ASML还会推出光束更多的测验设备以满意客户对先进工艺的要求。

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